Diferans ki genyen ant Sputtering kouch ak kouch vakyòm nan konpayi Glass

Kontrèman ak evaporasyon vakyòm, sputtering se itilizasyon iyon gwo enèji pou fè kolizyon ak materyèl sib la, se konsa ke fòmasyon atòm, molekil, iyon vole soti, konsa fòme yon fim sou substra a.

Metòd sa a nan zouti se metòd ki pi souvan itilize nan faktori boutèy vè nou an nan popilarizasyon ak endistriyalizasyon pwodiksyon an. Se Grove nan A1 la dekouvri fenomèn nan sputtering sou katod la sou sifas la nan tib la egzeyat.

Iyon wo-enèji (oswa iyon net) ak materyèl sib yo pwodwi kolizyon elastik, sifas la sib nan iyon yo absòbe momantòm sa a, ak Lè sa a, plis kolizyon ak iyon ki antoure yo, rezilta a koupe atòm yo sifas sib lye nan kosyon ki genyen ant sifas atòm lan ap vole soti, sa ki lakòz sputtering.

Tout kalite efè ki te koze pa sputtering yo efikas pou de fwa emisyon elèktron, katòd vè (sib) sputtering, gaz analyse dekonpozisyon, chofaj nan katod, gaye nan lakou nan layout, chanjman lasi ak enplantasyon ion. Konpare ak kantite patikil pozitif ensidan an, R vin de koyefisyan emisyon elèktron boutèy an vè, epi valè li afekte pa pwopriyete materyèl sib la, mas ion pozitif, potansyèl ionizasyon ak gwosè momantòm de la. elektwon.

Lè enèji nan patikil pozitif rive nan plizyè douzèn a dè santèn de elèktron volts valè R la se nan konpayi an vè plizyè 1% kèk yon dizyèm.

Lè yon ion pozitif fè kolizyon ak yon sib, li chofe ak 75% nan enèji li yo tounen chalè, se konsa ke materyèl la sib bezwen yo dwe refwadi pou ke sib la ka dekonpoze oswa menm fonn. An jeneral, enèji vakyòm vakyòm ki soti nan sous la evaporasyon vole soti nan atòm nan nan faktori a vè se 0.1ev, nan materyèl la sib Splash soti nan enèji atomik la pase sous la evaporasyon vakyòm vole soti. nan enèji atomik la nan yon gwo 1 ~ 2 lòd nan grandè, apeprè 5 ~ 10ev, chak tan inite gen to a sputtering r, r valè ak ensidan an pozitif dansite ion ak valè sputtering koyefisyan se pwopòsyonèl ak pwodwi a.